激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度,以其波长0.6823μm的激光为长度基准,通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。
激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准,利用光波干涉计数原理进行精密测量。
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激光干涉仪,不适合对()误差进行测量。A、直线度B、圆度C、平面度D、垂直度
激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点,但测量长度受限制,故仅适用于小型坐标镗床。
用于测量长度的激光干涉仪包括:激光头、干涉仪和()3部分。A、主轴箱B、直线反射镜C、仪器底座D、工作台
激光干涉仪虽定位精度高,但因测量长度受限制,故仅适用于小型坐标镗床。
激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点,但测量长度受限制,故仅适用于小型坐标铿床。
激光干涉仪定位装置的特点是:定位精度高,可小于(),且不需刻线尺,所以()不受限制。