二次电子、背散射电子的定义并写出它们成像的特点。

题目

二次电子、背散射电子的定义并写出它们成像的特点。

参考答案和解析
正确答案:二次电子——在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子。成像特点:对试样表面状态敏感,产额正比于1/cosθ,只有在轻元素或超轻元素存在时才与组成成分有关;在收集栅加正压时,具有翻越障碍、呈曲线进入探测器的能力,使得试样凹坑底部或凸起的背面都能清晰成像,而无阴影效应;像的空间分辨率高,适于表面形貌观察。
背散射电子——被样品中的原子核反射回来的一部分入射电子,包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。成像特点:背散射电子能量较高,可直线进入探测器,有明显的阴影效应;产额随原子序数增大而增多;既可以进行表面形貌观察,也可以用来定性地进行成分分析。